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發布時間:2021-10-10 04:38  






高純氫氣(PH2)氫氣(H2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。此外,還有一種性質極為不穩定的氣體,加壓后需溶于溶劑中儲存在鋼瓶內,這種氣體稱為溶解氣體。氬氣(Ar):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。氦氣(He):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。
電子氣體的特點
電子氣體(Elect ron ic gases) :半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導體特殊材料氣體三大類。2017年,我國工業新舊動能轉換成效初顯,工業生產超預期回升、產業結構優化升級、企業效益明顯改善。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、L S I (大規模集成電路) 級、VL S I (超大規模集成電路) 級和UL S I (特大規模集成電路)級。