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發布時間：2021-07-29 07:29
質量流量控制器簡介
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使用范圍： 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。
特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。
流量控制器的工作原理
流量控制器（流量計）利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號放大去驅動控制調節閥門。通過實時的流量檢測閉環，去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
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質量流量控制器的常見問題
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實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡稱CF）。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。
假設某臺MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。
因此控制器發現流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。
流量計的常見類型介紹
1. 容積式流量計，它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個已知的體積部分，根據測量室逐次重復的充滿和排放該體積部分流體的次數來測量流體體積流量。
2. 浮子式流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3. 差圧式流量計 ，是根據安裝于管道中流量檢測件產生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。
4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型游渦發生體，流體在發生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的游渦的儀表。
5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它采用多葉片的轉子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導出流量或總量的儀表。
6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。
7. 電磁流量計，電磁流量計是根據法拉弟電磁感應定律制成的一種測量導電性液體的儀表。
8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。
科里奧利式流量計，其原理是利用流體在振管內流動時產生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質量流量。
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