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有機高純氣體

烷烴類：（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟（CHF3）、環氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等

五、使用時要嚴格按操作規程和安全操作要點執行，使用時減壓閥應安裝牢固，開啟氣瓶閥門時要緩慢。氣瓶的閥門如有損壞不得使用，并應由專門單位維修。

六、除貯存、使用氫氣的場所有可能有氫氣泄漏外，某些物質發生化學反應時也會產生氫氣，如金屬l鉀、鈉遇水會放出氫氣；12、使用氫氧火焰，閥門操作順序為：點火時，先開氫氣閥，點燃后，開氧氣閥。活潑金屬遇酸發生置換反應產生氫氣；蓄電池充電時也有氫氣放出。所以對于有可能產生氫氣的場所，也應根據情況采取相應的防火防爆措施。

三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體，是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。六氟化硫因上述及其它優良特性，近年來被廣泛用于電力、電子、電氣行業和激光、醫l療、氣象、制冷、消防、化工、軍事、宇航、有色冶金、物理研究等。