德國萊寶羅茨真空泵真空系統(tǒng)設(shè)計 惠州明勝機(jī)電

應(yīng)用范圍

根據(jù)設(shè)計，SOGEVAC泵可用來抽空穩(wěn)定氣體，其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。

警告

SOGEVAC泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性的、或氣體。

若存在有侵蝕性的，的，腐蝕的或氣體，請與LEYBOLD公司聯(lián)系。

根據(jù)設(shè)計，這些泵不能在或環(huán)境下工作。 若有問題，請與LEYBOLD公司聯(lián)系。

當(dāng)心

泵不適合抽空液體或含有灰塵的介質(zhì)。必須引入相應(yīng)防護(hù)措施。

如有問題，請與LEYBOLD公司聯(lián)系。

在抽空氧含量高于大氣（>20%）的氣體或其它高活性氣體之前，泵必須改型，除油，然后必須使用特殊油（例如PFPE）。

采取相應(yīng)安全措施。

請與LEYBOLD聯(lián)系以獲取有關(guān)重要的安全說明書。

1.2 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

處于備用狀態(tài)的泵，電機(jī)隨泵一起提供。隨泵一起提供的還有GS77或等同的油已注入泵內(nèi)。

連接口由塑料保護(hù)蓋封住。在啟動泵之前要去除這些塑料保護(hù)蓋。

關(guān)于真空泵漏氣檢測方法

   真空泵在使用過程中如發(fā)現(xiàn)有漏氣情況首先應(yīng)當(dāng)辨別是:真空泵漏還是管道漏。

   1、檢測真空泵的方法：將真空泵與其管道分離，用真空計直接測量真空泵進(jìn)氣口，如果泵真空度達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)就排除了泵漏氣的可能；

   2、檢測管道的方法：把管道或管道某一段取下，將其中一頭接在不漏氣的泵上，另一頭用真空計測量，通過這個方法檢測能夠分清漏氣點(diǎn)。

近年來, 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動, 多級羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。多級羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡單、清潔無油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。當(dāng)齒輪旋轉(zhuǎn)時，熔體即進(jìn)入吸入腔兩齒輪的齒槽中，隨著轉(zhuǎn)動，熔體從兩側(cè)被帶入排出腔，齒輪再度嚙合，使齒槽中的熔體被擠出排出腔，壓送到出口管道。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動等難點(diǎn)問題, 制約了多級羅茨干泵研制和生產(chǎn)。