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發布時間：2021-09-03 19:20
磷酸或正磷酸，化學式H3PO4，分子量為97.9724，是一種常見的無機酸，是中強酸。由五氧化二磷溶于熱水中即可得到。正磷酸工業上用硫酸處理磷灰石即得。磷酸在空氣中容易潮解。加熱會失水得到焦磷酸，再進一步失水得到偏磷酸。磷酸主要用于制藥、食品、肥料等工業，也可用作化學試劑。無色透明的粘稠狀液體。經高溫加熱便失水成焦磷酸和偏磷酸，長時間受冷即生成結晶，有腐蝕性，易吸濕，密封保存。
工業磷酸屬于危險化學品。
工業磷酸純品為無色透明狀液體或斜方晶體，無臭，味很酸。主要用于電鍍工業、工業、磷酸鹽工業及冶金工業等。磷酸蒸汽對皮膚有較強的腐蝕作用，工作人員注意保護呼吸和皮膚。
危險化學品目錄，由安全生產監督管理部門會同工業和信息化、環境保護、衛生、質量監督檢驗檢疫、交通運輸、鐵路、民用航空、農業主管部門，根據化學品危險特性的鑒別和分類標準確定、公布，并適時調整。
因為工業磷酸有腐蝕性，所以屬于危險化學品。
一、電子級磷酸用途分析：
1、用于基片涂膠前的清洗
2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠；
3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、 導體膜蝕刻、 有機材料蝕刻等
二、電子級磷酸制備工藝
1、用高純磷制備電子級磷酸的工藝
2、用高純制備電子級磷酸的工藝
3、用三氯氧磷制備電子級磷酸的工藝
四、電子級磷酸質量等級
E1為普通電子級磷酸
E2為高純電子級磷酸
