六氟化硫公司常用解決方案 江蘇凱美電子

氣體監測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監測設備。

1）電化學技術（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。SF6是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2。電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發現被檢測氣體。電化學技術其成本低、壽命長、結構簡單，可以連續工作的特點。

六氟化硫有毒嗎？這是個“美麗的誤會”

    六氟化硫有毒嗎？純凈的六氟化硫是一種惰性氣體，在電弧作用下會分解，當溫度高達4000K以上時，大部分的分解物為硫和氟的單原子。SF6氣體的分子具有很好的電負性，能夠捕i捉自由電子形成負離子，因此SF6氣體的滅弧性能是空氣的100倍，大型電力設備中大多使用SF6斷路器而不是空氣開關。電弧熄滅后，絕大部分的分解產物又重新結合成穩定的六氟化硫分子。其中極i少量的分解物，在重新結合的過程中與游離的金屬原子、水和氧發生化學反應，產生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設備內時，無論是在故障情況下或是在正常的開斷電弧作用下，可能分解，產生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。

    經驗表明，工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環境中，也會感到刺鼻或不舒服的氣味，對鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應在有明顯中i毒反應之前的幾秒鐘內就會產生。

高純六氟化硫的應用

 六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發展基礎電力行業，給六氟化硫廠家帶來了很大的市場機遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導體工業中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。

 該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據權i威機構預測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右，

 國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。而國內高純六氟化硫產品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業提供更多的發展機遇。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內高純六氟化硫產品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業提供更多的發展機遇。

六氟化硫防護之工作人員防護措施：

      在有六氟化硫設備的工作場所，有關人員應該穿著專業的SF6防護服以及手套和工作鞋。以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產物都會導致六氟化硫氣體純度不純的問題。六氟化硫防護服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點，不會影響人員活動自由，此外還能保護人體遠離無機酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內或者狹小的環境以及可能存在SF6泄i露的環境，使用防護面罩也屬于六氟化硫防護的內容。在對SF6電氣設備進行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護的時候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專業的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質中，危害可不少。由于有些有毒物質是氣態存在的，呼吸時有可能進入體內，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。