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發布時間：2021-09-27 06:07

潔凈車間高純氣體管道的安裝、施工？

潔凈廠房中的氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣、燃氣等一般氣體和高純氣體管道及真空管道，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ 71-1990)的有關規定。整個系統安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統的潔凈度。高純氣體是指其氣體純度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的氣體。

高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質量。因此，要理解安裝氣體質量的重大意義、要求嚴格遵守設計、施工要求，工作嚴肅認真、一絲不茍，高度重視各個細小環節，建成符合要求的管路系統。要求做到以下幾個方面:

1.外觀的檢查工作

(1)管道系統的管材、閥門及所有附件，嚴格設計要求選用，不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應放在室內精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破i裂。

(4)管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查:

1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

2)無銹蝕、蝕斑等現象。

3)管子平直、圓滑，無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。

4)管材內表面的“粗糙度”是否符合設計要求，螺紋處密封、保護是否良好。

5)外購成品“內表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關等i級i證書和資i質證明。應隨機抽樣做顯微鏡下檢驗，必須符合設計要求。

6)檢查成品“內表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

7)法蘭的密封面應當平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應當質地柔軟、無老化及分層現象，表面不得有折損、皺i紋等現象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。

特氣管道系統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險性，應確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統；排氣處理、監視系統的綜合管理系統；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統。因此在氣體管路安裝過程中我們要注意腐蝕1)濕氣腐蝕例如HCL、CL2在有水存在時很容易腐蝕鋼瓶，水分的引入可能來源于客戶使用，沒有關閉閥門，也可能在充裝過程中或水壓檢驗中。提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。聯接時根據氣體的性質、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準確性。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫i藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業；為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案；逐步成為行業領i先的整體系統供應商。

氣體減壓閥是氣動調節閥的必備配件

高純氣體管道工程介紹氣體減壓閥是一種自動降低管路工作壓力的專門裝置，它可將閥前管路較高的液體壓力減少至閥后管路所需的水平。減壓閥的構造類型很多，按結構形式可分為薄膜式、彈簧薄膜式、活塞式、杠桿式和波紋管式等。

氣體減壓閥是氣動調節閥的一個必備配件，主要作用是將氣源的壓力減壓并穩定到一個定值，以便于調節閥能夠獲得穩定的氣源動力用于調節控制，因此在操作過程中的清潔事項也要多加注意。

氣體減壓閥的閥桿，閥瓣，渦輪，手輪，螺母，支架等滑動部位比較容易沾上很多灰塵，油污以及臟物等，對閥門會產生磨損和腐蝕，因此一定要保證閥門的清潔度以及閥門油漆的的完整度。

閥門上的灰塵要用毛刷之類的打掃和壓縮空氣吹掃，螺紋螺母之類的地方要用抹布擦洗;閥門上的油污和記住殘渣適于蒸汽吹掃，甚至用銅絲刷刷洗，知道加工面，配合面顯出金屬光澤，油漆面顯出油漆本身為止。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應力、振動載荷和地i震災害等。塑料蝶閥應該要有人專門負責，每班都要檢查一次，定期打開沖洗閥進行沖洗，或定期拆卸沖洗，以免臟物堵塞閥門。

1、減壓閥應存放在干燥的室內,通路兩端必須用盲板堵塞,不準堆置存放。

2、長期存放的減壓閥應定期檢查,清洗污垢,在各運動部位及加工面上應涂以防銹劑,防止生銹。