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氫氣檢漏法的基本原理

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進(jìn)行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的(ISO10156國際標(biāo)準(zhǔn))，無毒性和腐蝕性，也不會對設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優(yōu)點。

氫的分子量與氦氣相近，是所有化學(xué)元素中分子量較輕的元素，有很好的擴(kuò)散性，逃逸性很強(qiáng)，吸附及粘滯性很低。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度。工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮氫檢漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇)，在現(xiàn)場需要查找系統(tǒng)漏點時，先排空制冷劑，然后逐段充注5%氫 95%氮的示蹤氣體，用手持式氮氫檢漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。基本工作原理是使用專門開發(fā)的氫氣傳感器，它只對氫氣有響應(yīng)信號，而對其他氣體沒有響應(yīng)，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。一旦出現(xiàn)信號響應(yīng)，說明有氫氣通過漏孔進(jìn)入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。同時，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會因本底污染而導(dǎo)致誤報警。

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真空設(shè)備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測的目的。所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對氦氣都會產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬。科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工裝（如外壓加強(qiáng)圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。當(dāng)泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。