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              發布時間:2020-12-31 04:55  






              ZEISS RDS-D動態旋轉測座,可選配光學與接觸式測頭系統。

              采用側面旋轉技術的動態旋轉測座于兩個方向均可實現±180°旋轉,步距角2.5°,

              空間旋轉位置可達20736個。采用CAA技術,極大的節約了探針校準與檢測時間。

              適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點觸測式測頭系統。掃描測量率達150點/秒

              使用TL3模塊時,探針長度 = 30-150 mm;長加長桿 = 100 mm;

              大探針重量 = 15 g;小探針直徑 = 0.3 mm.








              1) 配置TL3模塊的驗收測試:使用探針長度50mm,探針直徑3mm。

              2) 測量長度L 單位為mm,測量時RDS角度位置A=0°,B=0°。

              3) 使用光學測頭需接觸式測頭校準 (例如 ZEISS VAST XXT)。

              4) 基于ZEISS ViScan x 1倍光學鏡頭。

              5) 激光等級2M:未使用光學儀器(例如放大鏡、鏡頭元件、望遠鏡)進行光束聚焦,短時間(0.25秒)內暴露于光譜范圍內的可見激光光束睛無害。

              6) 探測誤差測試位于測量范圍中央并基于啞光球(直徑30mm)進行。依據ISO 10360-8 P[Form.Sph.D95%:Tr:ODS]。

              7) 適用于 12/18/8, 12/18/10, 12/24/8 及 12/24/10。

              8) 圓度測量中掃描速度為5mm/s,濾波為50 UPR。




              ZEISS DotScan

              測量范圍 1 mm 2)

              配備共聚焦白光測距傳感器,適用于ZEISS RDS-DCAA

              掃描測量速率高達1000點/秒。

              工作距離:10,5mm ,分辨率28nm

              可測量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

              測量范圍 3 mm 2)

              工作距離:21,5mm ,分辨率36nm,

              可測量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm




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