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              凹凸面曝光顯影公司推薦,清溪利成感光

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              發布時間:2020-07-22 10:50  
              曝光及顯影設備還包括主體曝光機10、基板輸送機構50及傳送裝置40。主體曝光機10用于先對基板S的主體進行曝光。傳送裝置40用于將來自該主體曝光機10的基板S傳送至基板輸送機構50,傳送裝置40例如為機械手臂。基板輸送機構50用于將基板S輸送至顯影裝置30,基板輸送機構50例如為輸送輥。由于該基板的長邊邊緣容易存在殘留光阻,因此,本公開通過設置對應于基板的長邊邊緣的邊緣曝光裝置20,即可去除絕大部分的殘留光阻。


              基板S沿圖中X軸方向移動,由CXD影像處理器22擷取視野內影像,CCD影像處理器22根據該影像計算偏移量,即,基板S邊緣Rl與CCD影像處理器22的邊緣R2之間的偏移量Λ y,并將該偏移量的信息提供給驅動裝置23,驅動裝置23根據接收到的偏移量的信息提供相應的輸出量,帶動與驅動裝置23的輸出端連接的邊緣曝光機21沿Y軸方向移動,與基板S邊緣Rl對齊,從而進行準確的邊緣曝邊。


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