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發布時間:2020-07-22 10:50  
基板S沿圖中X軸方向移動,由CXD影像處理器22擷取視野內影像,CCD影像處理器22根據該影像計算偏移量,即,基板S邊緣Rl與CCD影像處理器22的邊緣R2之間的偏移量Λ y,并將該偏移量的信息提供給驅動裝置23,驅動裝置23根據接收到的偏移量的信息提供相應的輸出量,帶動與驅動裝置23的輸出端連接的邊緣曝光機21沿Y軸方向移動,與基板S邊緣Rl對齊,從而進行準確的邊緣曝邊。
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