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發布時間:2020-12-19 07:26  
淄博齊韻泵業科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。
水環式真空泵的優點
1)結構簡單,制造精度要求不高,容易加工。
2)結構緊湊,泵的轉數較高,一般可與電動機直聯,無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。
3)壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。
4)由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
5)吸氣均勻,工作平穩可靠,操作簡單,維修方便。
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水環真空泵的排出側必需裝設閥門(球閥或截止閥等)和逆止閥。閥門用來調理泵的工況點,逆止閥在液體倒流時可避免泵反轉,并使泵防止水錘的打擊。
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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導體真空泵應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空泵,其成分可能極為復雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油封式機械泵,這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質,就可能堵塞真空泵或管路系統,影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設置過濾設備。
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