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發布時間:2021-08-27 12:30  





EMMI可廣泛應用于偵測各種組件缺陷所產生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區域操作的晶體管,可藉由EMMI定位,找熱點(Hot Spot 或找亮點)位置,進而得知缺陷原因,幫助后續進一步的失效分析。其實利用在檢測芯片的過程當中,其實這種方法是非常有效的,關于emmi分析國內目前的技術通常已經達到了要求,在對芯片進行檢測過程當中,利用微光顯微鏡它的效果通常是非常明顯的。比如說如果說亮點被遮掩的過程當中采用的是利用境外紅波的發光,通過拋光的處理來進行探測,這樣才能夠有效的去發現金屬歸沉寂的有效缺陷。