武漢豐派等離子可量尺定做「豐熱科技」

湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業；是集研發、生產、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發狀態的Fe，并不斷向工件內部擴散，從而達到滲氮的目的。

輝光離子氮化是指利用輝光放電現象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法。采用的輝光離子氮化爐，以工件為陰極，爐體為陽極，當爐內真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨氣，使真空室內壓力約為66.65~1333.2Pa。

在運行的射頻輝光放電等離子體中，由于離子和電子遷移率的不同將導致陰極負偏壓的形成，在陰極表面建立一個直流負偏壓是進行射頻濺射工藝的必要條件。兩個面積相等的電極置于射頻輝光放電等離子體中，不可能建立陰極靶表面的負偏壓，不可能產生濺射。