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氦質譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應用氦質譜檢漏，檢漏時構造一個臨時的密閉空間，利用氦質譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點（泄漏指標異常處）。氦質譜檢漏儀操作簡單，響應快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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按檢漏儀上的“開始”按鍵，檢漏儀開始對氣瓶夾層進行抽空。達到檢測條件后，用噴槍將分別在氣瓶內膽和外膽噴吹氦氣，如產品存在泄漏，氦氣會進入到夾層內部，進而被抽入檢漏儀內，而被檢測到，超過設定報警值，檢漏儀會顯示漏率并發出聲光報警，提示不合格。

氦質譜測漏儀的準確性

氦質譜測漏儀應用廣泛，隨著科技的進步，對科研器材要求更加嚴格；生產工藝的改進，對產線的性能要求更高；以及化工企業，管路的嚴密性好壞直接關系安全；電廠的管路嚴密，直接關系到節約多少能源等等。所有這些，都需要使用氦質譜檢漏儀來完成檢測任務。保證標準漏孔的準確，就是保證氦質譜檢漏儀檢測結果的準確性。

氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，

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