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發布時間:2021-10-24 02:26  





要求
不銹鋼管件在現場安裝時方可啟封,啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統。整個系統安裝完成后,還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃,以確保整個系統的潔凈度。供氣系統安裝完成后,根據要求進行相關的強度測試、密封測試和穩定性測試。實驗室“氣體工程”是一項較為復雜,嚴謹的系統工程,需要專業的工程公司參與整體設計規劃。
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基本功能模塊
數據分析及導出 :所有數據可按照用戶設定的時間段進行導出,方便實驗數據分析
實時曲線圖,歷史曲線圖 : 簡單直觀查看歷史曲線和實時曲線,方便過程監控
自動濃度配氣 :針對配氣實驗需要,可實現濃度自動換算,或根據濃度值自動分配流量
MFC故障診斷:針對不同型號的MFC可實現故障診斷、報警、處理等功能。
自動吹掃:根據用戶需要,自動設定吹掃時間及吹掃方式
自動檢漏 :可通過截止閥的聯動,配以一定算法,實現自動檢漏功能
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系統整體要求
實驗室氣體采用集中供氣方式,由實驗室外供氣區域用管路引進。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統直接產生外,其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶,并安裝自動切換面板進行供氣控制,保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應安裝在實驗室外。
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