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              無塵車間改造滿意的選擇“本信息長期有效”

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              發(fā)布時間:2020-07-29 21:54  






              無塵車間潔凈室管理制度

              1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行,在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功,現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

              2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

              3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建,后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。

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              無塵車間凈化工程的凈化原理

              氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風夾道→新風、初效空氣處理。  

              重復以上過程,即可達到凈化目的。  

              技術(shù)參數(shù)  

              換氣次數(shù):十萬級10-15次/小時;  

              萬級15-25次/小時;  

              千級50-52次/小時;  

              百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s;  

              壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa;  

              溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;  

              相對濕度:45-65%(RH);  

              噪聲≤65dB(A);  

              新風補充量:總送風量的20%-30%;    

              照度:≥300Lux。  

              結(jié)構(gòu)材料  

              1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。  

              2.地面采用環(huán)氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。  

              3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。


              無塵車間潔凈度等級劃分標準

              ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.

              為劃分等級,ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.  

              ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設計、技術(shù)要求、運行和控制中予以考慮.





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