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光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。所有設備（包括腳手架、推車等）車輪必須是橡膠輪子，而且輪子必須用透明膠帶纏緊。光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、、食品制造等行業不可或缺的重要設施

根據潔凈室凈化工程擬生產的產品的門類、品種或使用情況，確定所設計潔凈室凈化工程的控制對象及技術要求。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。如對生物潔凈室凈化工程，其控制對象是空氣中的塵粒、微生物；面不同產品或用途的生物潔凈室凈化工程，對空氣潔凈度等級、空氣中含有的微生物種類和濃度、壓差等的要求是不問的。又如集成電路生產用潔凈室凈化工程．其控制對象主要是空氣中的塵粒；按集成電路的特征尺寸、集成度的不同，對空氣潔凈度等級、防微振、高純物質等的要求是不同的，應披具體工廠的產品品種確定。