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微孔加工的剖分加工有兩種方法：一種是微小孔加工后再剖切，另一種是在緊密結合的兩塊光滑平板上沿結合縫打孔。由于孔徑微小，加工后剖切應屬薄板切割。此時為取得較高切割精度應使用激光切割。但由于切割光斑直徑較大(如薄板厚為5mm、要求切割速度為1.5m/min時，光斑直徑為0.2mm[6])，與所加工的微小孔直徑接近，切割后所剩余的微小孔內表面太小，難以進行粗糙度測量；同時，為了保護微小孔內壁在剖切時不受飛濺物的影響，通常在剖切前向微小孔內先注入蠟等物質以保護孔內壁，但此時保護物對微小孔內壁粗糙度測量結果的影響無法評估，因此采用這種剖切加工工藝時需非常慎重，以避免測量的困難。

微孔加工零件是怎樣的？

一、零件材料分析。該零件材料為DT4E，屬于硬度較低、剛度較差的材料。DT4E材料在切削過程中有如下特點：材料質地較軟、粘性較大；切削溫度高；切屑不易折斷，易粘結；刀具易磨損。

二、零件結構分析。此零件是液壓閥中的重要的功能零件，孔系表面要有高的硬度、好的耐磨性、強的耐腐蝕性、高的表面質量，因此對零件的孔系表面進行鍍鎳處理。φ4.5H7、φ4.7H7尺寸為鍍鎳后尺寸，因要求表面鍍鎳層厚度為9～12μm，因此機械加工需保證孔的鍍前尺寸φ4.5 mm、φ4.7 mm ，同時需保證孔系的形位公差要求（基準A為零件左端φ35s7外圓）。

φ4.7H7孔與φ4.5H7孔聯接處要求R0.2mm，而兩孔的單邊差異只有0.1mm，這為微孔加工帶來了難度，且一般刀具很難保證R要求。

微孔加工——電火花加工：   電火花加工是另一種微孔加工方式。它的原理是基于工件和工具（正負極）之間脈沖性火花放電時的電腐蝕現象來蝕除多余的金屬，以達到對零件的尺寸形狀和表面質量預定的加工要求。電火花腐蝕的主要原因是：電火花放電時通道中瞬時產生大量的熱，達到很高的溫度，足以使金屬材料局部融化，氣化而被蝕除掉，形成放電凹坑。電火花加工方法對于材料的去除是靠放電時的電熱作用實現的，材料的可加工性主要取決于材料的導電性及其熱學性能，而幾乎與材料的力學性能無關。這樣就突破了傳統加工對刀具的限制，可以實現軟刀具加工硬的工件。更重要的是，由于加工中工具電極和工件不直接接觸，沒有機械加工宏觀的切削力，因此更適于加工低剛度工件和細微工件，而且可以得到相當高的精密性和性。 電火花加工的突出局限性是：主要用于加工金屬導電材料，而且一般加工速度比較慢。但總的來說，電火花這種需要加工力小，有相對加工精度保證的加工方法，將會在以后的微孔加工中受到更多的重視。

技術是20世紀80年代末出現的一種先進制造技術[2]。采用快速原型技術可以對產品設計進行快速評價和修改，以及時響應市場需求，提高企業的競爭能力。熔融沉積造型作為一種快速原型制造工藝，是指采用熱熔噴頭將處于半流動狀態的材料按CAD分層數據控制的路徑逐層擠出，堆積、凝固后形成整個原型或零件[3]。常見的用于FDm的噴頭口型直徑約為0.2mm，屬微小孔范圍。目前如此微小的孔可以使用電火花、高速鉆削以及激光等方法加工。激光加工工藝近年來發展較快，現在已經可以用激光在紅、藍寶石上加工直徑為0.3mm、深徑比為50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦極細的激光束方便地鉆出直徑為0.1～0.3mm的微小孔[5]。考慮到微小孔激光加工工藝的的優點及其應用日益增加的趨勢，本文著重研究采用激光加工的微小孔內表面粗糙度的測量。