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發布時間:2020-11-13 07:53  






磁控濺射
磁控濺射靶材的利用率可成為磁控濺射源的工程設計和生產工藝成本核算的一個參數。電子光學制造行業行業中,其是這種非快熱式鍍一層薄薄的膜技術性,關鍵運用在有機化學氣候堆積上。目前沒有見到對磁控濺射靶材利用率專門或系統研究的報道,而從理論上對磁控濺射靶材利用率近似計算的探討具有實際意義。對于靜態直冷矩形平面靶,即靶材與磁體之間無相對運動且靶材直接與冷卻水接觸的靶,?靶材利用率數據多在20%~30%左右(間冷靶相對要高一些,但其被刻蝕過程與直冷靶相同,不作專門討論),且多為估計值。為了提高靶材利用率,研究出來了不同形式的動態靶,其中以旋轉磁場圓柱靶工業上被廣泛應用,據稱這種靶材的利用率可超過70%,但缺少足夠數據或理論證明。常見的磁控濺射靶材從幾何形狀上看有三種類型:矩形平面、圓形平面和圓柱管? 如何提高利用率是真空磁控濺射鍍膜行業的重點,圓柱管靶利用高,但在有些產業是不適用的,如何提高靶材利用,請到此一看的朋友,在下面留下你的見解,提供好的方法。
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磁控濺射鍍膜機
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目前國內窗膜行業的批發商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧,產品賣出后幾個月,開始大面積氧化,需要賠償,甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多,搞得很多人談磁控膜色變的地步。而在15、16年后,問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現了。這樣中空玻璃,一些門窗廠,幕墻公司、小規模的玻璃深加工工廠,都可以生產low-e中空玻璃了,加上政府政策的支持與引導,大大的加快了low-e玻璃的發展與普及。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜,一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必擔心,大部分的側檔都不是銀的,請放心使用。且這兩年的技術進步,國內各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實在玻璃鍍膜行業,早就解決了氧化問題,我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內合成中空,不然就會氧化。當時low-e與中空都是鍍膜廠做的,下邊玻璃加工廠根本無法介入,而現在鍍膜廠只需生產玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達6個月以上,都不會氧化。這樣中空玻璃,一些門窗廠,幕墻公司、小規模的玻璃深加工工廠,都可以生產low-e中空玻璃了,加上政府政策的支持與引導,大大的加快了low-e玻璃的發展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應多去看看玻璃行業的low-e鍍膜,多些交流。畢竟生產原理是一樣的東西,技術是相通的。很多東西是可以套用的,low-e鍍膜得到了規?;陌l展,技術工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的,如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發展,才是正道。就目前來說,僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗,是不可能有成本上優勢的。但都是鍍膜,如何做差異化,我目前也只是拋磚引玉,只有大家一起開動腦袋了。

磁控濺射的原理
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成膜速率高,基片溫度低,膜的粘附性好,可實現大面積鍍膜。該技術可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法。
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