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發布時間:2020-12-04 15:56  





新模式是徹底顛覆初中過濾的傳統模式,采用逆向液體高壓噴淋模式,同步動態消毒、自動除塵,形成交叉縱橫系統,即為新風進入機組先是消毒、除塵,是避免管道積塵及二次污染;回風進入機組后,通過除塵、消毒后達標排放。這樣在不影響空氣流量、壓力控制、過濾系統、溫度、濕度等一些列問題,做到了恒效運行、自動除塵、節能減排及削減成本。

無塵車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。

潔凈廠房使用驗收后,應編寫使用驗收報告,其主要內容有:
1 潔凈廠房中各種設施(包括生產工藝設備)等的開啟狀態描述;
2 測試的潔凈室(區)人員及其活動情況的描述;
3 分項測試記錄及分析意見(包括測試點位置、座標等);
4 測試儀器的有效校驗證書;
5 驗收出具相關結論。
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微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將一開始的設計定型。
