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              電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備廠家承諾守信

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              發(fā)布時間:2020-12-02 13:01  






              電子束鍍膜設(shè)備介紹

              以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。

              電子束蒸鍍(Electron Beam Evaporation)是物理氣相沉積的一種。與傳統(tǒng)蒸鍍方式不同,電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準(zhǔn)地實現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材,使之融化進而沉積在基片上。電子束蒸鍍可以鍍出高純度的薄膜。



              電子束蒸發(fā)鍍膜機的技術(shù)特點

              沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品,以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。

              1、樣品臺:水冷樣品座,樣品座高度可調(diào),便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍:樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.

              2、電子槍:電子槍功率6kW可調(diào)(滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā))4穴水冷坩堝(適用于對多種材料進行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好)。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性,配制高品質(zhì)束流掃描控制器,具有多種供控制程序進行選擇的預(yù)設(shè)模式,方便于操作、實驗數(shù)據(jù)積累。沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司本著多年電子束產(chǎn)品行業(yè)經(jīng)驗,專注電子束產(chǎn)品研發(fā)定制與生產(chǎn),先進的電子束產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù),建立了嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應(yīng)不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復(fù)性.



              電子束鍍膜有哪些特點

              ★ 完全封閉的系統(tǒng)框架設(shè)計,外觀更漂亮,使用更安全;是一臺兼具美學(xué)和用戶操控體驗的全新升級產(chǎn)品;

              ★ 前開門真空腔體,方便取放基片、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護;

              ★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板;基片臺公轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速0~25rpm連續(xù)可調(diào);平板基底襯底可選擇加熱或水冷;

              ★ 更優(yōu)的薄膜均勻性和重復(fù)性,采用進口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚;

              ★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有機物材料(進口電子槍)。



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