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              發布時間:2020-11-15 13:24  






              有機無機蒸發鍍膜儀

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              有機無機蒸發鍍膜儀采用直線式結構,主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接,其中一個生長室系統預留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的制備薄膜系統之間互相傳送基片。300D三源有機蒸發鍍膜機主要用途:特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發領域。有機無機蒸發鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發源、熱阻蒸發舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。



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