OPTM優點擇優推薦

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態來發送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

為了確保膜厚儀的安全操作，必須注意以下幾點：　　·始終按照操作手冊的要求操作膜厚儀；　　·不要損壞安全互鎖系統的任何元件，例如微動開關等等；　　·不要對膜厚儀做任何改變。

膜厚測試儀調校步驟：選擇要調校的產品程式；選擇菜單“調校---調校”開始進行“調?！逼聊蛔笙陆堑闹噶畲翱跁霈F,按“確定”結束調校。

　膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜，其厚度遠大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今，微電子薄膜，光學薄膜，抗1氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等在工業生產和人類生活中的不斷應用，在工業生產的薄膜，其厚度是一個非常重要的參數，直接關系到該薄膜材料能否正常工作。