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深冷分離法又稱為低溫精餾法，利用空氣中氮?dú)馀c氧氣的沸點(diǎn)不一致來分離氧氣和氮?dú)?。由于氮?dú)獾姆悬c(diǎn)（-196℃） 低于氧氣（-183℃），在液態(tài)空氣的蒸發(fā)過程中，液氮比液氧更容易變成氣態(tài)，而在空氣液化過程中，氧氣比氮?dú)飧菀鬃兂梢簯B(tài)。