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發布時間:2021-09-18 07:19  





質量流量計簡介
質量流量:
以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態下的 體積/分鐘 來表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業標準). 標準狀態為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)
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流量控制器的工作原理
流量控制器(流量計)利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成,即熱分布式流量計(Thermal Profile Flowmeter)。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值信號放大去驅動控制調節閥門。通過實時的流量檢測閉環,去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
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光纖制造使用質量流量控制器
在制作過程中,氣體質量流量控制器可以控制燃料氣體加熱預制件,并幫助控制沉積的每一薄層,也可以控制實際的氣體,沉積非常純的玻璃。
氣體質量流量控制在拉伸過程中把氣被輸入爐區,防止燃燒。
大約每5毫秒,質量流量控制器中傳感器的信號就會通過整個處理過程。
根據不同的過程及操作壓力,質量流量控制器的響應時長將限制在50毫內。在一秒鐘內,燃燒器和冷卻塔內的流量可能要調節200多次。