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發布時間:2020-10-06 21:51  





凈化車間工程傳統技術與無塵室新技術的對比無塵空氣凈化車間的結構組成說明:按照無塵凈化車間管理規定,無塵凈化級別主要就是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子的數量來規定。但是對于光學構造來講,一點點的灰塵都可能會產生非常大的不好的影響。因此在無塵凈化車間管理規定中說明在光學構造產品的生產上,要求無塵凈化車間無塵是必然的。
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無塵凈化車間工程,由中央空調和空氣凈化系統組成,它們就是凈化系統的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數,調節車間溫度和溫度。) 風淋室、更衣室、凈化間是車間凈化系統的三個基本組成部分。風淋室是進出潔凈區的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環氧樹脂鋪成。

無塵車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。

對于半導體工業而言,無塵室是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。
