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發布時間:2020-12-28 12:05  







淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置,它的旋轉速度高達90000RPM(1500轉/秒),形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下(十億分之二個大氣壓),并且它設計緊湊,體積小,重量輕。主要有兩個系列:STP和EXT,主要區別是EXT系列的回轉軸承是陶瓷的,而STP系列的回轉軸承是用磁性材料制成的。干泵選擇CVD制程通常需要通過選擇適當的干泵產品來克服四個特定挑戰。
五、羅茲泵
EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵,其抽氣率從240m3/h到4500m3/h,極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率,常串油式或干式泵使用
六、真空計
愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar,內設先進的微處理器控制;




適用于鋰離子電池制造設備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動全世界的環保議程,可靠的高質量真空是其制造過程中的關鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵,這些泵由全球服務和支持網絡提供支持。 油封旋轉式葉片泵:
低成本干泵:
可減少維護成本并降低環境影響智能泵:
高控制功能ATEX 認證版本:
安全操作
惠州市明勝機電設備有限公司制造銷售各種真空泵,并提各類真空泵維修保養服務(羅茨,螺桿,旋片式,干式,水環式等真空泵維修保養)以及各類進口真空泵配件耗材。服務品牌:普旭(博世)、里其樂、萊寶、貝克、愛發科、愛德華、大晃、斗一,阿爾卡特等進口真空泵。定期檢查電動機電流值,不得超過電動機額定電流泵長期運行后,由于機械磨損,使機組噪聲級振動增大時,應停機檢查,必要時可更換易損零件及軸承,機組大修期一般為一年。