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發(fā)布時間:2020-12-25 07:08  





潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。是用以改造和新建1000—300000級各級潔凈室的終端空氣過濾設(shè)備,滿足凈化要求的關(guān)鍵設(shè)備。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)的濕度范圍為35—45%。
賽達(dá)凈化堅持秉承以科技為先導(dǎo)、以市場為導(dǎo)向的科學(xué)管理理念,憑借規(guī)范化管理及專業(yè)的技術(shù)力量在食品、藥品、化妝品、微電子等諸多工業(yè)領(lǐng)域設(shè)計承建了潔凈SC廠房、GMP廠房、無菌室、實驗室及相關(guān)配套產(chǎn)品。我們的宗旨:專業(yè)!誠信!高效!
氣壓規(guī)定
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無塵車間所必備的凈化設(shè)備,通用性強(qiáng),可與所有的潔凈室和潔凈廠房配套使用,工作人員進(jìn)入車間時,必須通過此設(shè)備,用強(qiáng)勁潔凈的空氣,由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個方向噴射至人身上,有效而迅速清除去附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物,它可以減少人進(jìn)出潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。傳遞窗根據(jù)箱體材質(zhì)不同可分為:不銹鋼傳遞窗、外鋼板內(nèi)不銹鋼傳遞窗等。杜絕工作人員將頭發(fā),灰塵、細(xì)菌帶入車間,達(dá)到工作場地嚴(yán)格的無塵凈化標(biāo)準(zhǔn),生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。
特性:
1、固化后的表面硬度高,耐磨損,不起塵;
2、使地面能抵受大的沖擊荷載;
3、與基層混泥土整體粘接,不起鼓,不脫落;
4、堅硬密實的表面可以較大限度的抵抗油脂,特種液壓油和多種工業(yè)用化學(xué)試劑的侵蝕滲透;
5、日常清潔方便簡單,節(jié)省物料,降低費(fèi)用。
適用范圍:適用于大部分工業(yè)廠房、倉庫、停車場、貨倉式商場等,尤其是有車輛行走的區(qū)域。