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為了避免電壓瞬變、瞬時停電、電壓不足等現象，可以根據需求選用不間斷電源（UPS）。 進行精密儀器室設計的同時，也要做好相關配套化學處理室的設計工作，因為這在保護儀器和加強管理上是非常必要的

。亂流潔凈室送風量：亂流潔凈室送風量的理論計算（其中nv—潔凈室換氣次數，次/h；V—潔凈室凈體積，m3；G—單位容積發塵量，粒/（m3.min）；抗性消聲器的消聲原理是：它不直接吸收聲能,而是借助管道截面的突出擴張或收縮,或旁接共振腔,使沿管道傳播的部分噪聲在突變處向聲源方向反射回去而不通過消聲器,從而達到消聲的目的。N—亂流潔凈室穩定含塵濃度，粒/L；S—回風量與送風量之比；ηh—回風通路上過濾器的總效率；ηx—新風通路上過濾器的總效率）

如果密封帶分別設置在門盒和門風扇中，則必須注意兩者之間的良好連接，減少密封條在門縫中的中斷間隙。

食品廠潔凈室的地板和墻壁、墻壁和墻壁、墻壁和天花板應用硅膠密封。所有干凈的房間窗戶、干凈的門和隔板間隙都需要用密封膠密封。靜壓箱的箱體、箱內過濾器的框架及固定件應進行鍍鋅、鍍鎳等防腐處理。吊頂表面平整度差小于2mm，各接縫平直度必須小于1.5mm，各接縫高度必須小于1mm，各接縫間隙不大于0.5mm，墻板垂直度誤差小于1度。

防微振的重要性體現在各行各業:例如感光化學工業,彩色膠片乳劑層14個涂層總厚度僅19μm,在涂布過程中由于微小的振動將使乳劑涂層厚薄不勻,在膠片上產生橫紋;在慣導技術方面,為了提高的打擊精度,準確命中目標,需要對陀螺儀、加速度計及組合制導(、導航、地形匹配及景物匹配)系統的精度提出高的要求,這種慣導系統的調試和檢測,必須在極為寧靜的環境中進行;對于微電子工業,線寬0.1μm(4G DRAM)產品已進人市場,硅片加工中的光刻工序對微振動的控制要求極為嚴格。、咬口時，手指與輥殼的距離不應小于5cm，手不允許放在咬板機軌道上，使板保持穩定。

為了滿足集成電路日益精細的加工要求,各國在微污染控制技術領域內投入了可觀的人力、物力進行系統研究,取得了大量科技成果,涌現了一批高科技產品,諸如超過濾器(過濾效率達99.9999%)的問世及ISO3級(0.1μm)潔凈室的建立;超純水及超純氣體的應用;隧道式潔凈室及微環境系統潔凈室的出現和使用,大大降低了污染。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。在防微振領域,從廠房結構形式、動力設備布置及隔振措施到精密設備防微振措施等方面獨特的建樹,為集成電路生產提供了一個優良的環境。