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發(fā)布時間:2020-10-20 18:29  
正膠顯影:正性光刻i膠的曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
負膠顯影:在負性光刻膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
正膠具有很好的對比度,所以生成的圖形具有良好的分辨率,其他特性如,臺階覆蓋好、對比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
負膠的特性為,具有良好的粘附能力和阻擋作用、感光速度快;顯影時發(fā)生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。