您好,歡迎來(lái)到易龍商務(wù)網(wǎng)!
【廣告】
發(fā)布時(shí)間:2021-04-19 09:26  





Parylene涂層是在室溫下在元件上自發(fā)形成的,不需要經(jīng)升溫固化過(guò)程,不需要對(duì)基材施加室溫以上的溫度和更多的時(shí)間來(lái)讓膜生長(zhǎng)。由于這種聚合是自發(fā)的不需要催化劑。促進(jìn)聚合的催化劑通常是離子或離子化合物,固化后它們會(huì)多少殘留一些在涂層里。這些殘留的物質(zhì)能參與電荷的遷移,在一定程度上影響涂層的電性能。又由于Parylene涂層是在室溫下形成的,因此可以防止主要因室溫和固化溫度變化不同由熱膨脹引起的應(yīng)力問(wèn)題。
杰出的絕緣性能
除了這些內(nèi)在的性質(zhì)以外Parylene類涂層有優(yōu)異的電性能,它有優(yōu)異的介電性能--低的介質(zhì)損耗和高的介電強(qiáng)度,同時(shí)它還具有優(yōu)良的機(jī)械性能,有高的機(jī)械強(qiáng)度和低的摩擦系數(shù),這二者的結(jié)合使Parylene成為對(duì)小型繞線傷害元件能適用的絕緣層。
ParyleneC 在芳烴上一個(gè)氫被氯原子取代,具有非常低的水分子和腐蝕性氣體的透過(guò)率,沉積生長(zhǎng)速率也比N型快得多,是目前應(yīng)用廣、防護(hù)效果好的粉材。ParyleneD 在芳烴上二個(gè)氫被二個(gè)氯原子取代,具有阻燃性。在更高溫度下具有相對(duì)更好的物理及電性能,同時(shí)與N、和C型相比,具有更好的熱穩(wěn)定性。
ParyleneHT是苯環(huán)上的4個(gè)氫原子被氟取代,與C,N,D比較,其薄膜的介電強(qiáng)度高、介電常數(shù)低(即透波性能好),熱穩(wěn)定性好。薄膜本身連續(xù)、致密、無(wú),短期耐溫可達(dá)450攝氏度,長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350攝氏度,并具有強(qiáng)的抗紫外線能力,更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料。
Parylene是獨(dú)特的聚對(duì)(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名稱,是一種分子級(jí)敷型涂層材料,根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同,可分為Parylene N、C、D、HT、F型等多種類型。Parylene D在較高溫度下仍有優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能,有較高的穩(wěn)定性。本文將對(duì)其單體制備方法和成膜方法進(jìn)行簡(jiǎn)單總結(jié)。
Parylene 薄膜的制備聚合過(guò)程
常用制備派瑞林的方法是化學(xué)氣相沉積法(CVD),反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生空間氣相化學(xué)反應(yīng),在固態(tài)基體表面直接生成固態(tài)物質(zhì),進(jìn)而在基材表面形成涂層的一種工藝技術(shù)。派瑞林薄膜制備過(guò)程為環(huán)狀二聚體在高溫下兩個(gè)相連碳鍵斷裂,生成具有活性的二單體,當(dāng)其從高溫環(huán)境進(jìn)入室溫環(huán)境的沉積室時(shí),不穩(wěn)定的單體就會(huì)聚合成膜。整個(gè)制備工藝過(guò)程分為三步:?jiǎn)误w的汽化、裂解、在基材表面進(jìn)行附著沉積。
離子鍍:蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。這種技術(shù)是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術(shù)的結(jié)合。一種離子鍍系統(tǒng)將基片臺(tái)作為陰極,外殼作陽(yáng)極,充入惰性氣體(如)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過(guò)等離子區(qū)時(shí)發(fā)生電離。正離子被基片臺(tái)負(fù)電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。