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發布時間:2020-10-30 10:56  





感應加熱式蒸發鍍膜
利用高頻電磁場感應加熱,使材料汽化蒸發在基片表面凝結成膜的技術。
優點蒸發速率大,可比電阻蒸發源大10倍左右 蒸發源的溫度穩定,不易產生飛濺現象坩堝溫度較低,坩堝材料對膜導污染較少缺點蒸發裝置必須屏蔽造價高、設備復雜
在真空中,高能粒子轟擊材料表面,使其原子獲得足夠的能量而逸出表面,到達襯底凝結成膜的技術。
與真發鍍膜相比,濺射鍍膜適用于所有(包括高熔點)材料,具有附著力強、成分可控、易于規模化生產等優點。
但其工作氣壓低于蒸發鍍膜,因此膜層的含氣量和孔隙率大于蒸發鍍膜。
帶正電荷的蒸發料離子,在陰極吸引下,隨同離子一同沖向工件,當拋鍍于工件表面上的蒸發料離子超過濺失離子的數量時,則逐漸堆積形成一層牢固粘附于工件表面的鍍層。這就是離子鍍的簡單作用過程。
PVD技術四個工藝步驟
(1)清洗工件:接通直流電源,氣進行輝光放電為離子,離子轟擊工件表面,工件表層粒子和臟物被轟濺拋出;
(2)鍍料的氣化:即通入交流電后,使鍍料蒸發氣化。

其缺點是:
1)工藝比傳統單色PVD的更為復雜,流程更為繁雜,生產難度高;
2)生產良率低,大約為65~70%(傳統單色PVD的生產良率一般為85~90%;
3)價格會比傳統單色PVD的高50~60%;
4)因工藝和流程的影響,雙色PVD生產限制較多,受產品結構的影響較大,而傳統單色PVD則幾乎不受限制
現代涂層設備(均勻加熱技術、溫度測量技術、非平衡磁控濺 射技術、輔助陽極技術、中頻電源、脈沖技術) 現代涂層設備主要由真空室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入系統、機械傳動部分、加熱及測溫部件、離子蒸發或濺射源、水冷系統等部分組成。氮化鉻涂層(CrN)CrN涂層具有良好的抗粘結性,抗腐蝕性,耐磨性。