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質量流量控制器概述

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熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質量流量控制器簡介

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使用范圍： 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。

MFC質量流量控制簡介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質量流量控制。流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的，簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經傳感器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。

質量流量計的測量

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質量流量計直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表，因此可根據上述三個基本量而導出十幾種參數供用戶使用。質量流量計組態靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。

質量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質量流量；另一類為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。

直接式質量流量計有多種類型，如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。