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質量流量控制器簡介

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使用范圍： 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。

質量流量計的原理

以下內容由北京曉韜科技有限公司為您提供，希望對同行業的朋友有所幫助。

目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周圍環境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

質量流量計簡介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個因變量，而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學研究、生產過程控制、質量管理、經濟核算和貿易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質量。這種測量方法，中間環節多，質量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著現代科學技術的發展，相繼出現了一些直接測量質量流量的計量方法和裝置，從而推動了流量測量技術的進步。

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質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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