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              OPTM膜厚儀價格在線咨詢「在線咨詢」

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              發布時間:2020-07-20 05:30  

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              考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]

              當樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。



              膜厚儀測試時有關輻射安全注意事項

              幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產生輻射。測量頭的設計完全符合國際X射線安全要求:  ·測量頭控制臺上的一個鑰匙開關通過打開或關閉X射線管上的高壓決定X幅射的產生與否;  ·一個多級故障自動保險互鎖系統可控制X幅射的產生,從而有效保護操作者的安全;  ·如果測量門沒有完全關閉,X幅射就不會進入測量室;  ·足夠的遮罩用來減小外部的幅射量。


              膜厚儀是一種比較精密的監測設備,它在平時的使用中對于精準度的要求很高,但是還是會有誤差的現象發生,除了儀器本身的一些故障以外,環境因素也是造成誤差的一大“元兇”。


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