特種氣體價格-現貨銷售“本信息長期有效”

特種氣體系統：常規供氣系統

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣吹掃；支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。按照標準，預制作業需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業人員也按照百級凈化間的管理著裝。氣體房和抽風系統根據氣體性質進行分類。              

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。

其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產業高速發展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發展。由于微電子、光電子產業對氣體的使用要求極高，所以我們特將這個領域所使用的特種氣體叫電子特氣。可是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時刻太長。電子特氣的使用行業主要有太陽能電池片、半導體發光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等行業。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。