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              發布時間:2021-03-15 17:49  

                  1、無塵室廠區總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區等合理布局,不得互相防礙。

                  2、無塵室廠區功能設施一定要配套,必須有保證產品生產所需的生產、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯堂等輔助設施.輔助設施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區環境衛生,影響生產正常進行。無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產品。

                  3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環境的相對位置及與廠內其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。


              無塵室內防止微粒子污染的基本原則:

                  不攜入

                在無塵室內不攜入微粒子的方法有:

                作業員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理;

                進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

                通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。

                機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。

                無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。


                在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

                無塵室內防止微粒子污染基本原則:

                    排除/除去

                在無法避免大量微粒子發生的機臺中,為了不讓無塵室內產生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。除了人員進出潔凈室須予以規范管理外,原材料及設備進出也必須經過潔凈程序,方不至于影響潔凈室潔凈度。


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