空調蒸發器真空箱氦檢漏設備的行業須知「多圖」

氦質譜檢漏儀熱管檢漏

熱管

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導原理與致冷介質的快速熱傳遞性質，透過熱管將發熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導熱能力超過任何已知金屬的導熱能力。熱管技術目前廣泛應用于計算機、各類電器等設備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀 (VC 單體) 等。今天科儀創新的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些，希望對您有所幫助。

熱管需要檢漏原因：

熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統越龐大，該間隔時間也越長。其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用 氦質譜檢漏儀對熱管進行檢漏。

熱管檢漏客戶案例：某電子股份公司，是世界 IT 產業 500 強之一，分公司及營業處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地，全球員工近 90000人。該企業是全球較大的電源供應器制造商，市場占有率達 25% 以上。

熱管檢漏方法：

該企業熱管出廠前標準漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用氦質譜檢漏儀檢漏時，設定 E-8 為報警值，當漏率低于該值時產品是合格的，當漏率高于此值，檢漏儀發出聲光警報，說明產品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式，因為產品沒有抽真空的標準接口，上海伯東根據客戶實際情況定制真空夾具，一頭連接檢漏儀，一頭連接產品，具體做法如下：

1.啟動氦質譜檢漏儀，裝上夾具

2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵

3.按下檢漏儀啟動鍵，開始抽真空

4.在產品周圍噴氦氣，以 E-8 mbarl/s 為合格線

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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦質譜檢漏儀故障與處理

(1)內部的密封結構

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時，有可能會存在密封失效的問題。氦質譜檢漏儀的注意事項檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環節，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證高精度的檢漏漏率。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

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