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發布時間:2020-07-23 14:28  





大家在使用鍍鎳砂時一個主要困擾是:砂的鍍覆活性不穩定,由此導致上砂質量的波動。不穩定的一個主要原因是砂的退鍍,那為什么鍍鎳砂容易退鍍呢?可能這篇文章能給你一些答案。
鍍鈦砂和鍍鎢砂,都屬于高耐腐蝕砂,鍍層穩定。比如,日本使用鍍鈦砂,耐久性2-3個月,有利于產品質量穩定和產線的自動化。

射頻濺射
采用射頻電源代替直流電源,在靶和襯底間施加高頻電壓,濺射時,靶極會產生自偏壓效應(即靶極會自動處于負電位狀態),使絕緣靶的濺射得到維持。常用的頻率約為13.56兆赫。
優點可以濺射所有材料,包括導體和絕緣體濺射可大規模生產
磁控濺射
磁控濺射通過在靶陰極表面引入正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面,成螺旋狀運行來增強電離效率,增加離子密度和能量以增加濺射率。電源方面可同時配備直流和射頻兩種。