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              汽車真空鍍膜設(shè)備優(yōu)選企業(yè)「多圖」

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              發(fā)布時(shí)間:2020-10-31 05:26  






              真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 

              真空鍍膜機(jī)工作的環(huán)境要求:       

              真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求,一般包括真空設(shè)備對所處實(shí)驗(yàn)室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求,和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。




              工藝特點(diǎn)

              (1)廣泛應(yīng)用于金屬涂層、陶瓷涂層、無機(jī)涂層材料等。

              (2)在產(chǎn)量方面,從單件到大批量皆可。

              (3)有質(zhì)量優(yōu)勢,沉積溫度低,薄膜成份易控,膜厚與淀積時(shí)間成正比,均勻性,重復(fù)性好,臺階覆蓋性優(yōu)良。

              (4)工具涂層的生產(chǎn)效率不如PVD,具體取決于特定技術(shù)要求和輔助工藝。

              4、適用材料

              化學(xué)氣相沉積曾是真空技術(shù)廣泛用于陶瓷沉積的一種技術(shù),特別是對工具涂層更是這樣。

              20世界80年代早期隨著等離子體輔助PVD工藝的顯露,CVD在工具方面的應(yīng)用衰落了。但由于這種工藝具有非常好的滲入特性,其在CVI、ALE等領(lǐng)域的工藝中有著很好的應(yīng)用前景,主要用于金屬涂層、陶瓷涂層、無機(jī)涂層材料。




              PCVD的工藝裝置由沉積室、反應(yīng)物輸送系統(tǒng)、放電電源、真空系統(tǒng)及檢測系統(tǒng)組成。氣源需用氣體凈化器除往水分和其它雜質(zhì),經(jīng)調(diào)節(jié)裝置得到所需要的流量,再與源物質(zhì)同時(shí)被送進(jìn)沉積室,在一定溫度和等離子體等條件下,得到所需的產(chǎn)物,并沉積在工件或基片表面。所以,PCVD工藝既包括等離子體物理過程,又包括等離子體化學(xué)反應(yīng)過程。




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