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發布時間：2020-11-07 11:51
小型自動磁控濺射儀
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業磁控濺射產品供應商，我們為您帶來以下信息。
1. 濺射室極限真空度：≤6.6×10-6 Pa
2. 系統真空檢漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S
3. 系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到6.6×10-4 Pa；
4. 系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa
5. 濺射真空室1套，立式上開蓋結構，尺寸不小于Ф300mm×300mm，全不銹鋼結構，弧焊接，表面進行電化學拋光，內含防污內襯，可內烘烤到100～150℃，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封，腔體內有照明系統
6. 磁控濺射系統 3套， 提供3塊測試靶材。鍍膜不均勻度≤5%
7. 旋轉基片臺 1套，樣品臺可放置不小于100mm樣品1片，具有連續旋轉功能，旋轉0—30轉/分連續可調?；訜釡囟龋菏覝亍?00°C連續可調，由熱電偶閉環反饋控制，加熱電源配備控溫表，控溫方式為PID自動控溫及數字顯示
8. 觀察窗口及法蘭接口部件 1套
9. 工作氣路1套，包含：100SCCM、20SCCM質量流量控制器、CF16截止閥、管路、接頭等共2路； DN16充氣閥、管路、接頭等2路；
10. 抽氣機組及閥門、管道 1套，包含1臺進口復合分子泵及變頻控制電源（680L/s ，德國普發Hipace700分子泵）；其作用能夠提供物品表面硬度從而提高化學穩定性能，能夠延長物品使用周期。1臺機械泵（4L/S） ，1臺DN40氣動截止閥，機械泵與真空室之間的旁抽管路1套，CC150氣動閘板閥1臺（用于復合分子泵與真空室隔離），節流閥1臺，DN40旁抽氣閥1臺，壓差式充氣閥1臺；管道采用不銹鋼三通及波紋管，
11. 安裝機臺架組件 1套，由方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理，機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾，四只腳輪，可固定，可移動。
光纖磁控濺射鍍膜機組成
以下內容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供，希望對同行業的朋友有所幫助。
設備用途：
在光纖表面鍍制納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。配有陽極層離子源進行清洗和輔助沉積，同時設備具有反濺射清洗功能，以提高膜的質量和牢固度。專用樣品臺可鍍制多種型號光纖產品
系統主要由真空室、磁控靶、單基片加熱臺、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統及安裝機臺等部分組成。
雙靶磁控濺射鍍膜機的特點有哪些？
沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售磁控濺射產品，以下信息由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供。
產品特點
1：此款鍍膜儀配置有兩個靶槍：一個靶槍配套的是射頻電源，用于非導電靶材的濺射鍍膜；一個靶槍配套的是直流電源，用于導電材料的濺射鍍膜
2：該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜，應用非常廣泛。
3：該鍍膜儀體積較小，且配備有觸摸屏控制面板，操作方便。
