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              發布時間:2020-08-24 17:44  






              無塵車間接地系統的分哪幾類?

              電子設備接地

              可以將直擊雷與雷電波侵入的雷害的概率降低很多。對于一般電氣設備, 允許的雷電脈沖較高, 因此采取避雷針 、避雷網防直擊雷等措施是極其有效的。微電子設備非常靈敏, 耐壓水平很低, 一般只有 10 V左右, 對雷擊電磁脈沖極為敏感, 易受到電磁干擾和損壞。雷擊電磁脈沖因電磁感應產生, 并且可以通過電源線 、天線 、信號線的耦合被引入微電子設備。





              過濾器DOP(PAO)檢漏法在潔凈室中的應用

              采取相應的補救措施,保證區域的潔凈度 。

              DOP(PAO)檢漏法原理:過濾器的檢漏通常采用DOP(PAO)發生器在過濾器上游發塵,使用光度計(photometer)檢測過濾器上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否有泄漏。發塵的目的是因過濾器上游塵粒濃度較低,僅用粒子計數器在不發塵的情況下檢測,較難發現有泄漏。




              按照氣溶膠光度計操作要求進行初始化、設定報警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連,測量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發生器操作要求調節發生的氣溶膠濃度,使上游氣溶膠濃度達到10 mg/L~30 mg/L。

              掃描檢漏卸下HEPA的散流板,對整個過濾器面、過濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進行掃描。




              除5套因安裝時密封不好,后經重新安裝調整再測外,55套過濾器全部達標。

              結果判定及處理:過濾器泄漏率應≤0.01%。若 HEPA在檢測過程中,所有點的%LEAKAGE(泄漏率%)都不超過0.01%,則判該HEPA合格,若有一處超過0.01%,則判為不合格,并將該點標記出來,需修補或更換。過濾器濾料泄漏處允許用專用膠水修補。





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