超精密空氣靜壓導軌誠信企業

光波超精密——超精密空氣靜壓導軌

氣浮導軌的幾何精度包括：導軌在垂直面和水平面之間的直線度，導軌面之間的平行度，導軌間的垂直度；導軌導向精度是指運動部件運動軌跡與給定方向的偏差程度，主要取決于導軌本身的幾何精度和導軌配合間隙，其中配合間隙的大小主要取決于導軌的結構類型、表面粗糙度、導軌剛度以及熱變形等因素。

影響導軌精度的主要因素如下：

導軌直線度：它對導軌面間平行度和導軌間垂直度均有直接影響

光波超精密氣浮導軌廠家——超精密空氣靜壓導軌

導軌剛度：導軌受力將導致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點變形是由于導軌面的微觀不均勻性引起的；局部變形通常發生在應力集中的地方；導軌本身的變形是指導軌受外載后，整體變形，與導軌的材料、布置有關。

導軌表面粗糙度：主要由導軌材料、硬度及研磨工藝決定。

導軌結構形式：直接影響機床的定位精度、重復定位精度以及其它精度指標。

目前，國內外大多數精密測量設備均以空氣靜壓導軌為精密運動部件，而以氣動靜壓花崗巖導軌為參數適應性控制方式，其位置控制精度可達到 /-15納米。

由于精密測量儀要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導軌來構成高精度的直線運動機構。因此測試儀的導板采用空氣靜壓導軌。

凡是能夠同時承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺的移動量，載重量及精度要求不同，

安裝時，無論是直線導軌還是平面導軌，安裝都比較簡單，但由于直線導軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現的，這種形狀比平面導軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導軌的導軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實現滑動元件的平穩滑動。

直線導軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設計，也是直線導軌與平面導軌zui大的區別之一，所以在選購時也要十分注意這一點。

盡管導軌系統的形式是多種多樣的，但工作性質都是相同的，機床工作部件在指i定導軌系統上移動，尤如火車沿著鐵軌在指i定的方向上行駛。無論是機床導軌還是鐵路上的鐵軌，都是體現如下三種基本功能：

(1)為承載體的運動導向

(2)為承載體提供光滑的運動表面

(3)把火車的運動或機床的切削所產生的力傳到地基或床身上，減少由此產生的沖擊對乘客和被動加工零件的影響。

沿導軌系統的運動，大多數為直線運動，也有少數為弧線運動。本文討論的重點是直線導軌系統。當然，直線導軌的很多技術可以直接應用弧形導軌。

導軌為什么被稱為“系統”呢？這是因為導軌系統的工作包含著若干組件的同時工作，zui基本的組件為一個運動組件和一個固定組件。運動組件的形式有多種多樣，以后將予以詳細介紹，固定組件一般為道軌式，它是導軌精度的保證，如果導軌彎曲變形，運動組件或滑動組件便失去精i確的導向。

機床制造廠都在盡努力，確保導軌安裝的精i確性。導軌被加工前。導軌和工作部件都已經過時效處理。以消除內應力。為了保證導軌的精度和延長使用壽命，刮研是一種常用的工藝方法。