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發布時間:2020-11-06 08:43  





電子束鍍膜與電阻鍍膜的區別
電子束蒸鍍與利用電阻進行蒸鍍的優勢在于:可以為待蒸發的物質提供更高的熱量,因此蒸鍍的速率也更快;電子束定位準確,可以避免坩堝材料的蒸發和污染。但是由于蒸鍍過程中需要持續水冷,對能量的利用率不高;而且由于高能電子可能帶來的二次電子可能使殘余的氣體分子電離,也有可能帶來污染。此外,大多數的化合物薄膜在被高能電子轟擊時會發生分解,這影響了薄膜的成分和結構 。電子束蒸發鍍膜機產品介紹想要了解更多電子束產品的相關內容,請及時關注沈陽鵬程真空技術有限責任公司網站。
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電子束蒸發鍍膜機產品介紹
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產品配置:
★樣片數量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發腔體:高真空系統。
★蒸發不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉,轉速可調
★加熱:常規加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監控功能:石英晶控膜厚在線監測與終點控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復合實驗系統:通過復合mask系統與樣品對準系統,一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性的功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動 半自動控制