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發布時間:2020-07-31 11:49  





特種氣體系統:簡單供氣系統
由于氣體流量小,不經常使用,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統,有些甚至用單瓶系統。所有氣體共用一個氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統有時放在回風夾道,或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統。簡單供氣系統通常存在安全隱患。氦氣化學性質不活潑,使氦氣熱氣球和飛艇比氫氣熱氣球和飛艇更為安全。
特種氣體系統:
管道系統的設計
材料的選擇
特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。特氣柜中裝有各種氣體驅動閥,主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換,所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .
輔助系統的設計
氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動,閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣,所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。

特種氣體系統的設計與施工
氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動,閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣,所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。
特氣柜中裝有各種氣體驅動閥,主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換,所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統。光纖最1主要參數是損耗,無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗,主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。氮氣系統采用SUS316L-EP管,CDA可采用SUS316L-BA管,其管徑根據氣柜的多少來計算決定。
