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發(fā)布時(shí)間:2020-07-26 07:29  





凈化車間生產(chǎn)凈化工程設(shè)計(jì)要點(diǎn)
凈化車間生產(chǎn)空調(diào)系統(tǒng)的選擇、凈化車間生產(chǎn)潔凈度與換氣次數(shù),廠房結(jié)構(gòu)布局設(shè)計(jì)方案確定,施工材料質(zhì)量的選用,室內(nèi)送風(fēng)壓力和氣流控制,添加輔助檢測(cè)設(shè)備以保證控制參數(shù)的穩(wěn)定,控制人和物的流動(dòng)及處理以達(dá)到凈化車間生產(chǎn)的潔凈要求,提供照明及給排水等裝置,這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì),同時(shí)不得有悖于空氣凈化系統(tǒng),要確定設(shè)計(jì)方案,必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮,發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式,潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。
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怎么控制凈化車間生產(chǎn)的污染?
潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。凈化車間生產(chǎn)凈化工程具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。想了解更多相關(guān)信息,可以咨詢昭明凈化機(jī)電工程有限公司,謝謝!
凈化車間生產(chǎn)潔凈棚:
潔凈棚,又名凈化車間生產(chǎn)潔凈棚/凈化潔凈棚/百級(jí)潔凈棚/千級(jí)潔凈棚/萬(wàn)級(jí)潔凈棚,為在亂流之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較*級(jí)之潔凈空間,其等級(jí)為100~10000級(jí),內(nèi)部空間高度在2.0米左右,覆蓋面積約50㎡以下,四支支柱可加裝活動(dòng)輪,可為彈性運(yùn)用,可配套風(fēng)淋室使用。常用于局部需要高潔凈度場(chǎng)合,如:電子、LCD、線路板、光學(xué)、食品等領(lǐng)域??偟膩?lái)說(shuō),潔凈棚就是無(wú)塵車間內(nèi)較為適用的簡(jiǎn)易潔凈室。其四周支架采用工業(yè)鋁型材或不銹鋼方通或鐵方通多層酸洗靜電噴塑作為框架,抗腐蝕、防銹、美觀大方。潔凈棚常用板材有冷軋鋼板和不銹鋼板,厚度一般為0.8~1.5mm。不同的材質(zhì)與尺寸配置會(huì)直接影響到潔凈棚的價(jià)格成本。
昭明凈化機(jī)電,多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),專業(yè)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),高素質(zhì)施工人員,品質(zhì)高,售后服務(wù)完善,歡迎咨詢。