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發布時間:2020-07-20 23:45  
無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。1、無塵室廠區總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區等合理布局,不得互相防礙。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
1、無塵室廠區總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區等合理布局,不得互相防礙。
2、無塵室廠區功能設施一定要配套,必須有保證產品生產所需的生產、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯堂等輔助設施.輔助設施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區環境衛生,影響生產正常進行。無塵室內防止微粒子污染的基本原則:不攜入在無塵室內不攜入微粒子的方法有:作業員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理。
3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環境的相對位置及與廠內其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。
在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內的浮游微粒子濃度,使用的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
若能徹底實施“不攜入”技術,無塵室內的潔凈度就可以維持。6)人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。