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發布時間:2020-12-01 12:40  







金屬蝕刻加工可以加工SUS304不銹鋼牌號的不銹鋼,也可以加工諸如SUS316不銹鋼,銅,黃銅,鈹銅,MX215等合金材料。304不銹鋼材料的應用為廣泛,因為這種材料本身的抗腐蝕性能比較強,蝕刻加工完成之后的產品,不論是產品的尺寸,精度還是表面都能夠完全符合客戶的要求。興之揚是一家專注于精密蝕刻加工的深圳廠家,多年來成長為大型精密蝕刻加工廠。
金屬蝕刻加工的特點:1.目標性。所謂目標性,就是通過某一工藝流程的全過程有一個明確的輸出,或者說要達到某一特定的目的。對于金屬蝕刻加工而言,這個目的就是滿足其設計圖紙對產品的要求,更加具體的說,這些要求包括產品的蝕刻尺寸要求,經蝕刻后的表面粗糙度要求等。在半導體制程中純化學反應性蝕刻應用的情況通常為不需做圖形轉換的步驟,如光阻的去除等。
2.內在性。所謂內在性,是指一個公益流程必須要有其內在的特定內容,也可以說是內容的真實性。這些內容包含于工藝流程的每一個步驟中,以及參與這些步驟的所有操作者的行為過程。
3.整體性。所謂整體性,是指工藝流程中至少要有兩個或兩個以上的工序組成。因為作為流程而言的工藝流程不可能是由一個加工步驟來完成的,同時一個加工步驟也無法在工藝流程中完成流轉,至少要兩個或兩個以上的步驟及其相關活動才能建立起一個基本的結構或者關系,才能進行流轉。0075mm的精度,滿足不同產品的組裝要求,材料越薄,精度控制相對越高。對于金屬蝕刻加工工藝而言,也是由多個工序、各工序的工藝參數、各工序規定的工具及其相關設備組合而成的一個完整的工藝規范統一體,并且相互之間是不可分割的。
PH值在蝕刻不銹鋼網片過程中充當著重要的角色:
pH值對光致抗蝕劑的性能也有重大的影響,低pH值有助于少的側蝕(較高的蝕刻系數)。
高pH值一般是針對快速蝕刻而言的。系統每天都開,但板子不是連續運行的,所以水會因揮發造成損失,但這種損失遠少于從NHOH添加液中獲得的量。然而,對于一個給定的堿性蝕刻體系,pH值必須高于低值(依賴于銅的濃度),目的是為了維持溶液中的銅鹽含量。所以當pH值過高時,必須增加排氣量,升高銅含量或降低補充液中的總堿度,高pH值有助于較多的銅的溶解。高pH值會產生較大的側蝕并會影響到一些光致抗蝕劑的性能,特別是水溶性光致抗蝕劑,氨水或NH4OH的添加通常是由一個pH感應控制系統自動完成的。因為NH4OH含水,所以水的補加就必須保持平衡,以確保添加的水不會使氯離子或銅的濃度降低到它們的推薦值下面。
當堿性蝕刻液的pH值較高時,一些水溶性的抗蝕劑就會軟化,甚至被剝除。因此,較低的pH值可以被應用于精細線路的蝕刻。如果pH值過低,必須通過降低排氣,降低銅含量,加入氨水或增加補充液中的總堿度。溶液的pH值在銅的可溶性控制、蝕刻速率和側蝕方面非常關鍵。型號409—最廉價的型號(英美),通常用作汽車排氣管,屬鐵素體不銹鋼(鉻鋼)。補充液中的NH4OH提供了大量的需要維持堿性的pH值(遠高于7.0)的基礎液,但額外需要的氨水要求達到推薦的pH值范圍(遠大于7.0)。相反,低pH值是針對慢速蝕刻的。當氨水中不含會攪亂系統平衡性的水時,氨氣在pH值的控制下會工作得很好,但使用時是相當危險的。因此,高pH值的堿性蝕刻劑一般運用于高產率的生產。然而,對于一個給定的堿性蝕刻體系,pH值必須高于低值(依賴于銅的濃度),目的是為了維持溶液中的銅鹽含量。
興之揚蝕刻不銹鋼網片小編來向大家說說電漿干法蝕刻中的基本物理及化學現象:
在干法蝕刻中,隨著制程參數及電漿狀態的改變,可以區分為兩種極端的性質的蝕刻方式,即純物理性蝕刻與純化學反應性蝕刻。純物理性蝕刻可視為一種物理濺鍍(Sputter)方式,它是利用輝光放電,將氣體如Ar,解離成帶正電的離子,再利用偏壓將離子加速,濺擊在被蝕刻物的表面,而將被蝕刻物質原子擊出。此過程乃完全利用物理上能量的轉移,故謂之物理性蝕刻。興之揚蝕刻電視304不銹鋼網小編來給大家講解什么是干法蝕刻:電漿干法蝕刻主要應用于集成電路制程中線路圖案的定義,通常需搭配光阻的使用及微影技術,其中包括了1)氮化硅(Nitride)蝕刻:應用于定義主動區。其特色為離子撞擊擁有很好的方向性,可獲得接近垂直的蝕刻輪廓。但缺點是由于離子是以撞擊的方式達到蝕刻的目的,因此光阻與待蝕刻材料兩者將同時遭受蝕刻,造成對屏蔽物質的蝕刻選擇比變差,同時蝕刻終點必須精準掌控,因為以離子撞擊方式蝕刻對于底層物質的選擇比很低。且被擊出的物質往往非揮發性物質,而這些物質容易再度沉積至被蝕刻物薄膜的表面或側壁。加上蝕刻效率偏低,因此,以純物理性蝕刻方式在集成電路制造過程中很少被用到。
純化學反應性蝕刻,則是利用電漿產生化學活性極強的原(分)子團,此原(分)子團擴散至待蝕刻物質的表面,并與待蝕刻物質反應產生揮發性之反應生成物,并被真空設備抽離反應腔。因此種反應完全利用化學反應來達成,故謂之化學反應性蝕刻。但在實際生產中也不能無限制地增加NaOH濃度,原因是:a、NaOH濃度對蝕刻速度影響太高的NaOH濃度稠度太大,影響反應的正常進行,同時也增加了對抗蝕層的要求。此種蝕刻方式相近于濕式蝕刻,只是反應物及產物的狀態由液態改變為氣態,并利用電漿來促進蝕刻的速率。因此純化學反應性蝕刻擁有類似于濕式蝕刻的優點及缺點,即高選擇比及等向性蝕刻。在半導體制程中純化學反應性蝕刻應用的情況通常為不需做圖形轉換的步驟,如光阻的去除等。