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什么是流量控制器

質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。表4列舉Sierra公司對帶測量管浸入式TMF所規定的上直管段長度。質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

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流量控制器特點

1、 穩定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級

4、 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準

6、 標配三種顯示方式：數字、模擬和本地面板

流量控制器的應用場合

1、公用工程---電﹑氣﹑ 水處理的監控

質量流量控制器應用于管道的氣體；通用系統；沼氣；煤氣；液化氣；鍋爐預熱空氣。

2、石油工業

能量交換；填井氣回收； 燃氣計量；氣體質量分析；泄漏氣測試；火炬氣的監控。

3、電力行業

質量流量控制器應用于燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統中各種氣體的測量；燃氣爐中氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量。

4、化學行業

煙氣循環監測；采樣系統中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量；電池工廠各種氣體流量測量。

5、冶金行業

質量流量控制器應用于鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制。

6、紙漿與造紙行業

廢水處理系統中氣體的測量；煙道流量監控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量。

7、食品行業

質量流量控制器應用于加工操作中新鮮空氣的加入；

8、環保

質量流量控制器應用于沼氣利用過程中的氣體測量；污水處理過程中曝氣池的氣體測量；煙筒煙道排氣監測SO2和NOX的排量。

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流量控制器

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小,要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點:一,是要選擇耐壓符合要求的MFC。標準狀態規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。