中央真空系統報價常用解決方案「三木森自動化設備」

選擇真空泵注意事項：

1、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

2、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。

選真空泵注意事項

1. 使用環境是無塵車間，盡量選擇無油泵，或者真空泵放置在室外。

2 真空泵排除的油蒸汽對環境的影響。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

3. 真空泵極限真空度應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。

4. 要知道客戶腔體容積，使用的真空度，要求抽真空泵的時間，有這些參數我們可以計算使用多大抽數的真空泵，再結合上面的選型要求，選擇合適的真空泵。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩定的運行，延長真空泵維修維保時間，節約運行成本，保證生產設備的生產效率，保證設備產能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶，如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉子等卡滯，需要及時下機保養和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

靜音無油真空泵 小型真空泵，無油降噪，吸力大，真空度高，智能控制。升級銅電機，持久耐用。安全保護，工作不燒機，更精細的機芯，銅線電機，持久耐用，使用壽命更長，長期工作不燒機。 升級降噪、低音到位 內置消音，采用內置消音工藝，降低電機振動及噪音。外接效應管，降噪成效倍增。隔音加厚內壁，質量加厚型，密度高封閉更低音。無油低音，不加油，密封性能好，更低音。